优势:

•      适用 250mm~520mm 宽幅的卷对卷产品

•      真空腔体内 EPC 纠偏控制，保证收料精度 ±0.5mm

•      专利磁流体密封结构

•      卷对卷恒张力恒速度控制

•      独立等离子反应区隔离，减小等离子对其他机构的影响

•      传动件及绝缘件均采用高频陶瓷材质