优势：

•      可对接水平线或上下制程线体

•      尺寸小巧，灵活切换线体

•      可监控处理区温度

•      可选择磁力传送或皮带传输

•      可监控气体流量和比例混合

•      可监控等离子高度

•      可远程控制