MINI LED 真空Plasma FLEX-PS-11L/13L
产品特点
采用全自动开关门
支撑条固定在电极上，节省空间
机械臂全自动上下料
产品尺寸：1050mm(L)*1600mm(W)*5mm(H)
进出料自动感应，以防产品漏加工
采用PLC+工控机系统，实现全自动控制。
真空检测0-10 TORR(美国英福康)
产品详情
设备尺寸：1850mm(L)×1850mm(W)×2780mm(H)
真空室尺寸：800mm(L)×1100mm(W)×1350mm(H)（可按产能订制）
水平电 极板：电极板11层/13层，产品可放置10层/12层
电极板：标准：780mm*900mm
RF 等离子发生器 & 网络匹配：额定功率：0-10KW(AE)
过程温度控制：30-90℃恒定可控
气体流量控制器，扩展至 5 路气体：0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美国 MKS/ SEVEN STAR)
真空测量：0-10 TORR( 美国或日本）
人机界面触摸屏：可根据中国区客户实际需求，中文界面
信号指示灯：3 色带警报
真空发生系统：干泵机组（台湾 HanBell 干式真空机组，）